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產品簡介
納米操作機是一種可以在微納米尺度下與樣品進行精密操作和表征（如電學、力學、光學等），兼容于各種顯微鏡平臺（如光學顯微鏡、SEM、FIB等）進行各種物理測量的精密儀器。該系統全部由NATORS自主開發的模塊化部件組成，可根據用戶需求提供定制化解決方案。
產品特性
閉環運動控制，具有數十毫米運動行程和納米級運動分辨率
低漂移，高重復定位精度
結構緊湊、體積小，適配市面上大部分顯微鏡平臺
模塊化設計，可根據用戶需求提供定制化服務
產品應用
微納操作與微裝配
半導體納米芯片電學探測
材料納米力學測量（納米壓痕、彎曲、拉伸測試）
光電材料等原位光誘導或原位性能測量
MEMS器件測試
規格參數
| 概述 | 技術參數 |
|---|---|
| 納米操作手數量 | 多達8個+樣品臺 |
| 每個操作手自由度 | XYZ三軸 |
| 操作手運動行程（XYZ） | 20 mm |
| 開環運動分辨率 | 1 nm |
| 閉環運動分辨率 | 2 nm |
| 選配模塊 | 力傳感器 |
| 高溫樣品臺 | |
| 低溫樣品臺 | |
| 熱電樣品臺 | |
| 旋轉模塊(機械手、樣品臺) | |
| 運動樣品臺 |